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夜谈。

根据光刻机制造需满足“设备精度＞客户制程精度”的铁律：若设备厂洁净度低于晶圆厂，组装的机器将自带缺陷。

光刻机制造容许的微粒尺寸比晶圆厂还要低，另外还需要防微震，恒温恒湿系统。

零零散散算下来，一个平米的洁净厂房，加上测量实验室，装配线设备，镜片激光管等消耗品备件库存，3.5亿。

这份粗算，对比上海微电子的初期投入是差不多的。

不过研发费和人才团队投入可就无上限了。

涉及光源系统研发的话，初期成本至少倍增，后期成本高数倍。

大家讨论半天也没一个完全懂行的，但达成了一个较为可行的机制共识：等有了专家团队以后，让专家组把技术拆解分配，而后